发明名称 CARRIER PALTE IN DOUBLE SIDE POLISHING APPARATUS FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100897677(B1) 申请公布日期 2009.05.14
申请号 KR20070108915 申请日期 2007.10.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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