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Verfahren und Systeme zum Vermessen einer Oberfläche eines Objekts sind bereitgestellt, wobei Teile der Oberfläche des Objekts interferometrisch vermessen werden und eine Form der Oberfläche des Objekts repräsentierende Daten durch Zusammennähen (stitching together) der jedem Teil entsprechenden Messdaten erhalten werden. Zum Vermessen der individuellen Teile der Oberfläche des Objekts wird ein variabler Lichtformer benutzt, welcher vorzugsweise durch Anordnen zweier Beugungsgitter in einem Strahlengang von Messlicht konstruiert ist, und wobei die beiden Beugungsgitter geeignet relativ zueinander abhängig von einer Zielform eines bestimmten Teils der Oberfläche des Objekts verlagert werden.
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