Mehrschichtsystem mit Kontaktelementen und Verfahren zum Erstellen eines Kontaktelements für ein Mehrschichtsystem
摘要
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schichtsystem mit einem Kontaktelement (5), umfassend ein Substrat (1). Ein auf dem Substrat (1) angeordnetes Mehrschichtsystem (14) weist zumindest eine obere (3; 4) und eine untere (2; 3) Schicht und ein Kontaktelement (5) auf, welches die zumindest eine obere Schicht (3; 4) durchdringt und die untere Schicht (2; 3) kontaktiert. Die vorliegende Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zum Erstellen eines Kontaktelements (5) für ein Mehrschichtsystem (14).
申请公布号
DE102008051921(A1)
申请公布日期
2009.05.14
申请号
DE20081051921
申请日期
2008.10.16
申请人
GFE FREMAT GMBH;INTERPANE ENTWICKLUNGS- UND BERATUNGSGESELLSCHAFTMBH & CO.KG
发明人
BEREK, HARRY;PAUL, ALEXANDER;SCHMIDT, STEFFEN;HERLITZE, LOTHAR;WEIS, HANSJOERG;HAEUSER, KARL
