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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR AKTIVMATRIX-SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE60138224(D1) 申请公布日期 2009.05.14
申请号 DE20016038224 申请日期 2001.12.12
申请人 TPO HONG KONG HOLDING LTD. 发明人 TRAINOR, MICHAEL J.;AYRES, JOHN R.
分类号 H01L27/02;H01L27/04;G02F1/1362;H01L21/822;H01L21/8238;H01L21/84;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L27/02
代理机构 代理人
主权项
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