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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltungsanordnung mit Hilfsvertiefung, insbesondere mit Ausrichtmarken, und integrierte Schaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE102004014676(B4) 申请公布日期 2009.05.14
申请号 DE20041014676 申请日期 2004.03.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HEITZSCH, OLAF;GOLLER, KLAUS;NICHTERWITZ, MARION
分类号 H01L23/544;G03F9/00 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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