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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Kompensation des Ausgangssignals eines Sensors
摘要
申请公布号 DE10392816(B4) 申请公布日期 2009.05.14
申请号 DE20031092816 申请日期 2003.06.11
申请人 MKS INSTRUMENTS INC. 发明人 HORNE, STEPHEN F.;MAIORANA, PHILIP J.;MATTHEW, SANTHI E.;MINDLIN, LEONID;QUIGLEY, CLAUDIA J.;TARANTO, ERIC R.;SMITH, DONALD K.
分类号 G01D3/028;G01F15/02;G01D3/02;G01D18/00;G01F25/00;G01K1/20;G01L19/04;G01L27/00;G06F17/00 主分类号 G01D3/028
代理机构 代理人
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