发明名称 DEVICE AND METHOD FOR COATING A SURFACE
摘要 <p>Eine Vorrichtung zur Beschichtung eines Gutes weist eine Einrichtung zum Bereitstellen einer Flüssigkeit (2) auf, die zur Beschichtung erforderliche Reagenzien beinhaltet. Die Vorrichtung weist ferner eine Transporteinrichtung (3) auf, die die zu beschichtende Oberfläche des Gutes (4) mit der Flüssigkeit in Kontakt zu bringen und an der Flüssigkeit vorbeizuführen, so dass die zu beschichtende Oberfläche für eine bestimmte Zeit mit der Flüssigkeit in Kontakt bleibt, um eine Beschichtung derselben zu bewirken.</p>
申请公布号 WO2009059770(A1) 申请公布日期 2009.05.14
申请号 WO2008EP09379 申请日期 2008.11.06
申请人 STANGL SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AG;ECKSTEIN, JENS 发明人 ECKSTEIN, JENS
分类号 B05C3/18;B05C3/00;B05C3/05;B05C3/20;B05C9/14;H01L21/00 主分类号 B05C3/18
代理机构 代理人
主权项
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