衬底键合设备

摘要

本发明提供了一种衬底键合设备和方法。衬底键合设备可包括具有与固定到其一侧的衬底相对的接收表面的板、位于板的接收表面和衬底之间多个夹持件、以及用来将衬底从夹持件分离的衬底分离器。衬底分离器包括用于推衬底使衬底从夹持件分离的推力器和安装在板的接收表面上的基底板，基底板具有在其内形成的用以安装推力器的安装空间。推力器经过位于安装空间一端的进出端口伸出基底板，以对衬底施压。

主权项

1. 一种衬底键合设备，包括：具有接收表面的板，所述接收表面接收固定在其上面的衬底；在所述板的所述接收表面设置的多个夹持件，其中，所述多个夹持件保持位于所述板的所述接收表面上的所述衬底的匹配表面；以及衬底分离器，所述衬底分离器选择性地将所述衬底从所述多个夹持件分离，以从所述板释放所述衬底。