发明名称 Gap jumping to seal structure
摘要
申请公布号 EP1826800(A3) 申请公布日期 2009.05.13
申请号 EP20070008029 申请日期 1997.11.26
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 FAHLEN, THEODORE S.;LUDWIG, PAUL N.;SCHMID, ANTHONY P.;PRESSLEY, ROBERT J.;CHO, STEVEN T.;CONTE, ALFRED S.;COOPER, ANTHONY J.;POTHOVEN, FLOYD R.
分类号 H01J9/26;G09F9/00;G09F9/30;H01J9/24;H01J31/12 主分类号 H01J9/26
代理机构 代理人
主权项
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