| 发明名称 | 半导体设备的副产品收集装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种副产品收集装置，其用于有效地收集在半导体制造过程中从处理室排出的废气中所包含的反应副产品。所述副产品收集装置包括壳体和捕获模块。所述壳体具有进气口和出气口。所述捕获模块安装在壳体内，并具有呈弯曲状或倾斜状从而引导废气以弯曲方式流动的第一板。 | ||
| 申请公布号 | CN101432847A | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200780014866.6 | 申请日期 | 2007.04.25 |
| 申请人 | 株式会社未来宝 | 发明人 | 赵宰孝;洪正义;金泰佑;黄仁文 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陈桂香;武玉琴 |
| 主权项 | 1. 一种用于收集在处理室产生的废气中所包含的反应副产品的装置，所述装置包括：壳体，其具有进气口和出气口；以及捕获模块，其安装在所述壳体内，并具有呈弯曲状或倾斜状从而引导废气以弯曲方式流动的第一板。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||