| 发明名称 |
PENDULUM SENSOR DEVICE AND GLASS SUBSTRATE CARRIER COMPRISING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20090048107(A) |
申请公布日期 |
2009.05.13 |
| 申请号 |
KR20070114325 |
申请日期 |
2007.11.09 |
| 申请人 |
SEMES CO., LTD. |
发明人 |
KANG, LIM SUK;DO, DAE YONG |
| 分类号 |
G01P3/42;G02F1/13;H01L21/68 |
主分类号 |
G01P3/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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