用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统

摘要

一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统(200)，此系统可在植入之前先从离子束(202)移除不希望的粒子(222)。入口电极(204)包括进入孔(206)，并被偏压至第一基底电压。电极(208)位于该入口电极下游而距其有距离处，并且包括孔。该电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极(212)位于该电极下游而与其具有距离，并且包括出口孔(214)。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该电极第一静电场(218)，和产生从该出口电极朝向该电极的第二静电场(220)，藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。

主权项

1. 一种离子植入系统，包括：离子束源，其产生离子束；射束线组件，其接收来自该离子束源的离子束，所述射束线组件包括：质量分析器，其选择性地通过选择的离子；加速/减速元件，其接收来自该质量分析器的离子束，并且改变该离子束的能量水平；以及聚焦静电粒子捕捉机，其接收来自该加速/减速元件的离子束，并且从该离子束移除粒子，所述聚焦静电粒子捕捉机包括：入口电极，其包括入口孔并被偏压至第一基底电压；中央电极，其位于该入口电极下游而与其距有距离处，并包括中央孔且被偏压至中央电压，其中该中央电压小于该第一基底电压；以及出口电极，其位于该中央电极下游而与其距有距离处，并包括出口孔且被偏压至第二基底电压；以及其中产生从该入口电极朝向该中央电极的第一静电场，并且产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场；以及末端站台，其接收来自该射束线组件的离子束。