制备粒状多晶硅的方法和装置

摘要

公开了应用流化床反应器制备粒状多晶硅的方法。所述床的上部和下部空间分别被规定为反应区和加热区，将反应气体出口的高度选定为参比高度。本发明通过有效提供所需的热和稳定地保持反应区的反应温度而使反应器的生产率最大化，不影响流化床反应器的机械稳定性。这是通过加热区内的电阻加热实现的，其中，将内部加热器安装在反应气体供给装置和反应器管内壁之间，于是对加热区中的流化气体和硅颗粒进行加热。通过以可使硅颗粒在反应区和加热区之间呈连续、流化状态相互混合的速率供给流化气体来将加热区内产生的热转移到反应区。

主权项

1. 应用流化床反应器制备粒状多晶硅的方法，它包括如下步骤：在反应器壳体内竖立安装的反应器管内，在将流化气体输入硅颗粒床的流化气体供给装置上形成硅颗粒床；在硅颗粒床内竖直安装反应气体供给装置，使所述反应气体供给装置的反应气体出口可位于高于所述流化气体供给装置的流化气体出口；将反应器管的上部和下部空间分别设定为反应区和加热区，将反应气体出口处的高度选定为参比高度；利用在反应气体供给装置和反应器管内壁之间的空间安装的内部加热器进行电阻加热，从而对加热区中的流化气体和硅颗粒加热；以可使硅颗粒在反应区和加热区之间呈连续的、流化态相互混合的速率供给流化气体，于是将反应区的反应温度保持在预定的反应温度范围内；利用反应气体供给装置供给反应气体，以便硅颗粒可通过反应区中的硅沉积发生尺寸增大；利用气体排放装置将废气排出流化床反应器，所述废气包含流过反应区的流化气体，未反应的反应气体和反应副产物气体；以及利用颗粒排放装置将一部分硅颗粒作为硅产品颗粒排出流化床反应器。