形成辅助通孔的OPC修正方法

摘要

一种形成辅助通孔的OPC修正方法，通过在两层金属线之间的孤立通孔附近一定范围内寻找其他通孔、金属线，在附近一定范围没有通孔、金属线的孤立通孔附近形成辅助通孔，然后将该辅助通孔向四周扩展一个尺寸增加值，再将该辅助通孔向原始通孔方向扩展与原始通孔相接，并与其下层金属线重叠，最后在改进的金属线和通孔布图上进行常规的OPC修正。

主权项

1. 一种形成辅助通孔的OPC修正方法，包括如下步骤：a)沿第二层金属线检查每一个通孔，在其附近一定距离内是否有第一层金属线或通孔，如果没有，则沿着第二金属线的方向在原通孔附近设置一个辅助通孔；b)所述的辅助通孔向四周扩展一个尺寸增加值；c)向原始通孔方向扩展，使其与原始通孔边缘相接触；d)将增加值及扩展值与第一层金属线叠加，即形成最终的第一层金属线的布图；e)在以上改进的金属线和通孔布图上进行后续的常规OPC修正；f)对第二层和第三层金属线之间及更多层的通孔重复上述过程。