金属板带真空镀膜设备

摘要

本发明提供了一种金属板带真空镀膜设备，包括金属板带放卷机，加热蒸发金属材料的至少一把电子枪、在金属板带与被蒸发金属材料之间的金属蒸汽周围设置的将金属蒸汽电离成金属离子的等离子体机构，真空镀膜室，金属板带收卷机，在放卷机与真空镀膜室间有对金属板带进行预加热的加热机构、至少一组对金属板带表面进行活化处理的离子束预处理机构。用线形电子枪蒸发金属材料，形成的金属蒸汽通过高密度的等离子体区时被电离成金属离子，金属离子在电场力的作用下快速的沉积在金属板带上，达到对金属板带镀膜的目的。该设备生产表面镀膜金属板带产量高、低成本，且获得的镀膜表面微观结构非常致密，表面平滑。

主权项

1、金属板带真空镀膜设备，包括金属板带放卷机，加热蒸发金属材料的至少一把电子枪、在金属板带与被蒸发金属材料之间的金属蒸汽周围设置的将金属蒸汽电离成金属离子的等离子体机构，真空镀膜室，金属板带收卷机，其特征在于在放卷机与真空镀膜室间有对金属板带进行预加热的加热机构、至少一组对金属板带表面进行活化处理的离子束预处理机构，对金属板带表面进行活化处理的离子束预处理机构是采用条形离子源，等离子体机构是由阴极为被蒸发的金属材料、阳极为环状的被水强制冷却的金属环构成的将金属蒸汽电离成金属离子的无斑热弧的等离子体机构，每一支蒸发金属材料的电子枪配一套无斑热弧的等离子体机构。