发明名称 |
一种有机电致发光二极管制造方法及其使用的缓冲转换腔 |
摘要 |
本发明公开了一种有机电致发光二极管制造方法,包括高真空环境下在基板上沉积各有机功能层的镀膜阶段;缓冲转换腔体中的环境转换传递阶段;高纯N<sub>2</sub>环境的封装阶段;在缓冲转换腔体中通过外置电源对完成镀膜的基板进行电和气体处理。本发明在生产线上的传输转换腔体中对器件进行电和气体处理,通电时将会有较大电流流过器件短路缺陷处而将短路缺陷烧坏,氧气等气体处理可以将短路缺陷处氧化而使其丧失导电功能,从而把局部短路的缺陷区域去掉。 |
申请公布号 |
CN100487950C |
申请公布日期 |
2009.05.13 |
申请号 |
CN200710031789.7 |
申请日期 |
2007.11.29 |
申请人 |
信利半导体有限公司 |
发明人 |
范家寿;柯贤军 |
分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
代理机构 |
广州知友专利商标代理有限公司 |
代理人 |
宣国华 |
主权项 |
1、一种有机电致发光二极管制造方法,包括高真空环境下在基板上沉积各有机功能层的镀膜阶段;缓冲转换腔体中的环境转换传递阶段;高纯N2环境的封装阶段;其特征在于:在缓冲转换腔体中通过外置电源对完成镀膜的基板进行电处理,使基板正极接电源的负极、基板负极接电源的正极,利用二极管反压截止原理,基板上器件中流过短路缺陷处的电流将会明显大于没有短路缺陷的地方,从而把局部短路的缺陷区域烧坏去掉。 |
地址 |
516600广东省汕尾市城区工业大道信利电子工业城 |