基板型显像装置

摘要

本发明提供一种可以利用简单的结构构成使基板产生倾斜移动，进而可以短时间高效率地回收显像液的显像装置。该装置可以在上升之前，使升降部(13)的上端部处于比滚子(6)还要低的位置处，使其不会与基板W形成干涉，随着臂部件(8)的上升动作，升降部(13)将从滚子(6、6)之间向上方伸出，对基板(W)的背面实施支持，使其向上倾斜移动。通过这种倾斜移动可以使位于基板(W)的表面上的显像液从一端流下的，回收到显像液回收部件15的内部，随后再通过滚子搬运基板，使其移动到漂洗液的供给·回收部(4)处。对于漂洗液，可以将原先供给的漂洗液在被污染后原样排出，经过预定的时间之后，对该漂洗液实施回收。之后，通过滚子将玻璃基板朝向干燥部(5)实施搬运。

主权项

1、一种具有由沿与基板的搬运方向垂直的方向上与轴耦合的多个滚子构成的搬运线组件，设置在该搬运线组件的上游一侧的显像液供给部，和相对该显像液供给部设置在搬运线组件的下游一侧的显像液回收部的基板型显像装置，其特征在于前述显像液回收部在滚子的下方位置处配置有与搬运方向平行的两根以上的臂部件，该臂部件的前后一端以能够转动的方式实施着支持而且在转动支持着的一端之外的部分处与升降组件连接，在前述臂部件上设置有随着前述臂部件的上升从滚子之间突出、进而使基板倾斜移动的多个升降部，该多个升降部在离转动支点越远处其升降长度越长且其上端部大致成直线状的整齐排列。