用于传送物体的传送设备及其使用方法以及包含这种传送设备的光刻投影设备

摘要

本发明涉及一种用于传送物体(W)的传送设备，该传送设备包括一个用于以下至少一种操作的夹持器(15)，即在第一位置夹紧物体(W)并在接近接收装置(20)的第二位置释放物体(W)，以及在接近接收装置(20)的第二位置夹紧物体(W)后，在第一位置释放物体(W)。该传送设备还设置有一被布置用于在至少一个维度上测定夹持器(15)与晶片台(20)的相对位置关系的测量装置(22)。此外，相对位置误差由基于所测的相对位置相对于所需相对位置的关系所定义。调整夹持器(15)与晶片台(20)的相对位置，以使在第二位置处的相对位置误差最小化。

主权项

1、用于传送物体的传送设备，该传送设备包括：一个用于以下至少一种操作的夹持器(15)，即在第一位置夹紧物体并在接近接收装置的第二位置释放物体，以及在接近接收装置的第二位置夹紧物体后，在第一位置释放物体，其特征在于，·该传送设备还设置有一被布置用于在至少一个维度上测定夹持器(15)与接收装置的相对位置的测量装置，其中通过测定在接收装置的第一参考点和夹持器(15)的第二参考点(16)之间的相对位置而测定夹持器(15)与接收装置的相对位置，所述测量装置与第一参考点、第二参考点之间的相互作用是非机械接触的，·相对位置误差由基于所测的相对位置相对于所需相对位置的关系所定义，以及·调整夹持器(15)与接收装置的相对位置，以使在第二位置处的相对位置误差最小化。