闸阀装置、真空处理装置和闸阀装置中的阀体的开放方法

摘要

本发明提供一种闸阀装置，能够不产生粒子以及不使机构部寿命降低，且能够将动作时间控制在目标时间内。设置在真空处理室(10)的侧壁，并且用于开闭玻璃基板G的搬入搬出用的搬入搬出口的闸阀装置(30)，具有：开闭搬入搬出口(10a)的阀体(33)，驱动阀体(33)的气缸(36)，和根据阀体(33)的位置以使阀体(33)的移动速度不同的方式控制阀体(33)的驱动的空气驱动电路(60)。

主权项

1. 一种闸阀装置，其被设置在腔室的侧壁，用于开闭被处理基板的搬入搬出用的基板搬入搬出口，该闸阀装置的特征在于，包括：用于闭塞所述基板搬入搬出口的阀体；使所述阀体在闭塞所述基板搬入搬出口的闭塞位置和与所述基板搬入搬出口相隔开的退避位置之间移动的驱动机构；和根据所述阀体的位置以使阀体的移动速度不同的方式对所述阀体的驱动进行控制的驱动控制部。