带有阴极调节电阻结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种带有阴极调节电阻结构的平板显示器件及其制作工艺，包括由阴极面板、阳极面板和四周玻璃围框构成的密封真空腔，在阳极面板上有光刻的锡铟氧化物膜层以及制备在锡铟氧化物膜层上面的荧光粉层，用于控制碳纳米管电子发射的控制栅极，在阴极面板上有印刷的碳纳米管阴极，支撑墙结构及其消气剂附属元件，在阴极面板上设置有用于调节流经碳纳米管阴极的导电层中电流值的阴极调节电阻结构，通过调节不同像素点下碳纳米管阴极的场致发射能力，达到实现整体碳纳米管阴极能够均匀、稳定发射电子的目标，从而实现高质量的显示图像质量。

主权项

1、一种带有阴极调节电阻结构的平板显示器，包括由阴极面板[1]、阳极面板[10]和四周玻璃围框[14]构成的密封真空腔、设置在阳极面板[10]上的光刻的锡铟氧化物膜层[11]以及制备在锡铟氧化物膜层[11]上面的荧光粉层[13]、用于控制碳纳米管阴极[9]电子发射的控制栅极[8]、设置在阴极面板[1]上的印刷的碳纳米管阴极[9]、支撑墙结构[16]及其消气剂附属元件[15]，其特征在于：在阴极面板[1]上设置有用于调节流经碳纳米管阴极[9]的导电层中电流值的阴极调节电阻结构，所述的阴极调节电阻结构依次包括阴极面板[1]、纵向调节电阻电极[2]和横向调节电阻电极[3]、掺杂低温多晶硅层[4]、二氧化硅绝缘层[5]、阴极孔[6]、阴极电极[7]。