三极玻璃基底突栅阵列结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种三极玻璃基底突栅阵列结构的平面显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有控制栅极、碳纳米管以及三极玻璃基底突栅阵列结构；采用玻璃作为绝缘隔离材质，此绝缘隔离材质和阴极玻璃面板是集成到一起的，进一步增强了栅极和阴极之间的绝缘性能；采用了突栅结构，加强了对碳纳米管阴极的控制，减小了栅阴之间的电容，提高器件的显示图像质量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种三极玻璃基底突栅阵列结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[9]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[14]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[10]以及制备在阳极导电层上的荧光粉层[12]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[13]以及消气剂附属元件[15]，其特征在于：在阴极玻璃面板上有控制栅极[6]、碳纳米管[8]以及三极玻璃基底突栅阵列结构；所述的三极玻璃基底突栅阵列结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板[1]；刻蚀后的阴极玻璃面板上形成凹陷条段型结构；凹陷条段型结构从俯视结构上看，是一个条段型沟槽，从横向剖面结构上看，是一个窄口方形瓶形状，上开口处窄，底部宽，底部为一个矩形形状，从开口处到矩形的过渡阶段形成一个向内凹陷的斜坡；凹陷条段型形状底部的刻蚀后的金属层形成阴极引线层[2]；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成催化剂层[3]；催化剂层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成阴极阻挡层[4]；阴极阻挡层中间存在一个圆形孔，暴露出底部的催化剂层；阴极阻挡层上面制作的绝缘层形成栅极增高层[5]；栅极增高层的下表面和阴极阻挡层相接触，而其上表面和阴极玻璃面板的上表面是平齐的；阴极玻璃面板上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层[6]；栅极引线层存在于阴极玻璃面板的上表面和凹陷条状型形状的斜坡面上；栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层[7]；栅极覆盖层要完全覆盖住所有的栅极引线层；利用催化剂层来制备碳纳米管阴极[8]。