发明名称 |
一种用于生物医学流体的微型可逆密封结构和制作方法 |
摘要 |
公开了一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构,包括:第一衬底,在该第一衬底上设置有图案化的PDMS密封层;第二衬底,在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件;并且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述PDMS密封层被封装在所述第一衬底和第二衬底之间。还公开了一种制作用于生物医学微流体的微型可逆密封结构的方法,包括:在第一衬底上制作图案化的PDMS密封层;在第二衬底上制作流体控制和处理功能器件;以及通过所述PDMS密封层将所述第二衬底结合到所述第一衬底上,使得所述第二衬底上的流体控制和处理功能器件被封装在所述第一衬底和所述第二衬底之间。 |
申请公布号 |
CN101430299A |
申请公布日期 |
2009.05.13 |
申请号 |
CN200810240371.1 |
申请日期 |
2008.12.19 |
申请人 |
清华大学 |
发明人 |
刘泽文;秦健;王子千 |
分类号 |
G01N27/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/28(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王朋飞 |
主权项 |
1、一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构,包括:第一衬底,在该第一衬底上设置有图案化的PDMS密封层;第二衬底,在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件;且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述PDMS密封层被封装在所述第一衬底和第二衬底之间。 |
地址 |
100084北京市海淀区清华园北京100084-82信箱 |