| 发明名称 | 含聚醚胺的抛光组合物 | ||
| 摘要 | 本发明的化学机械抛光系统包含抛光组分、液体载体及聚醚胺。本发明的方法包括用上述抛光系统来化学机械抛光基板。 | ||
| 申请公布号 | CN101432384A | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200780015036.5 | 申请日期 | 2007.04.18 |
| 申请人 | 卡伯特微电子公司 | 发明人 | 杰弗里·戴萨德;保罗·菲尼;斯里拉姆·安朱尔;蒂莫西·约翰斯;辛云表;王 力 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 宋 莉 |
| 主权项 | 1.一种用于抛光基板的化学机械抛光系统，其包含：(a)选自抛光垫、研磨剂及其组合的抛光组分，(b)液体载体，及(c)选自以下的化合物：(1)式(I)的化合物：<img file="A200780015036C00021.GIF" wi="795" he="365" />其中x＝2～6，(2)式(II)的化合物：<img file="A200780015036C00022.GIF" wi="1477" he="363" />其中x+y＝2～4且y＝1～50，以及(3)式(I)化合物和式(II)化合物的组合。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||