多晶硅铸锭炉同步提升装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉同步提升装置，属机械提升装置，用于多晶硅生长铸锭炉中，包括分别固定设置在炉体(1)顶盖上的三个提升座(15)及设置有垂直直线导轨(11)的垂直提升基架(3)，在垂直直线导轨(11)上均分别活动设置有滑块(16)及L形提升角件(8)，L形提升角件(8)的下端与提升杆(13)连接在一起，在炉外驱动装置通过炉内处设置有密封圈(9)和波纹管(10)；其中的一个垂直提升基架(3)上设置有伺服电机(4)、减速机(5)和齿轮转向器(6)，伺服电机(4)带动三个提升座(15)上的提升装置同步提升炉内的坩埚。本实用新型整体结构简单，运行稳定，移动精度高，尤其适用密闭容器的内胆的同步移动。

主权项

1、一种多晶硅铸锭炉同步提升装置，包括分别固定设置在炉体(1)顶盖上的三个提升座(15)，在每个提升座(15)上分别固定设置有垂直提升基架(3)，其特征在于，所述的每个垂直提升基架(3)上均分别设置有垂直直线导轨(11)，在每个垂直直线导轨(11)上均分别活动设置有滑块(16)，在滑块(16)上均固定设置有L形提升角件(8)，每个L形提升角件(8)的下端与提升杆(13)的一端固定连接，提升杆(13)依次穿过垂直提升基架(3)上设置的孔、提升座(15)上设置的孔以及炉体(1)上设置的孔后与炉体(1)内的框架(2)连接在一起，在L形提升角件(8)的下端的提升杆的四周固定设置有提升上密封圈(9)，该提升上密封圈(9)的上端与L形提升角件(8)的下端固定连接在一起，该提升上密封圈(9)的下端与一波纹管(10)的上端固定连接在一起，波纹管(10)的下端固定连接在所述的提升座(15)上；在所述的其中的一个垂直提升基架(3)上设置有伺服电机(4)，该伺服电机(4)通过减速机(5)与齿轮转向器(6)连接在一起，该齿轮转向器(6)的垂直输出轴通过连轴器(7)与滑块(16)连接在一起，该齿轮转向器(6)的水平输出轴通过软轴(12)分别与安装在另外两个提升座(15)上的垂直提升基架(3)的滑块连接在一起。