| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A PROJECTION OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1063684(B1) |
申请公布日期 |
2009.05.13 |
| 申请号 |
EP20000900129 |
申请日期 |
2000.01.06 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
HIRAIWA, HIROYUKI;TANAKA, ISSEY |
| 分类号 |
H01L21/027;G02B5/30;G02B13/24;G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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