发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING NON-VOLATILE MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 KR20090047627(A) 申请公布日期 2009.05.13
申请号 KR20070113555 申请日期 2007.11.08
申请人 INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION, YONSEI UNIVERSITY 发明人 CHOI, DOO JIN;KIM, HYO JUNE
分类号 H01L21/205;H01L21/8247;H01L27/115 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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