| 发明名称 | 一种微尖端阵列器件及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及微电子技术中的深亚微米、纳米加工技术领域，公开了一种微尖端阵列器件，该器件由微尖端阵列、COMS控制电路单元和连接柱构成；微尖端阵列包括多个微尖端，每个微尖端通过一个连接柱与COMS控制电路单元进行机械和电学连接；COMS控制电路单元用于控制微尖端阵列中微尖端进行独立工作；连接柱用于实现微尖端阵列中微尖端与CMOS控制单元的机械和电学连接。本发明同时公开了一种微尖端阵列器件的制作方法。利用本发明，通过CMOS电路控制金属尖端场致发射电子束，实现了高分辨率纳米级图形加工和高密度数据存储，并通过微尖端阵列化解决了单探针工作效率低的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN101430938A | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200710176936.X | 申请日期 | 2007.11.07 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 陈大鹏;傅剑宇;景玉鹏;欧毅;叶甜春 |
| 分类号 | G12B21/00(2006.01)I;G12B21/02(2006.01)I;G11B13/08(2006.01)I;G11B11/24(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I | 主分类号 | G12B21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1、一种微尖端阵列器件，其特征在于，该器件由微尖端阵列(1)、COMS控制电路单元(2)和连接柱(3)构成；所述微尖端阵列(1)包括多个微尖端，每个微尖端通过一个连接柱(3)与所述COMS控制电路单元(2)进行机械和电学连接；所述COMS控制电路单元(2)用于控制微尖端阵列(1)中微尖端进行独立工作；所述连接柱(3)用于实现微尖端阵列(1)中微尖端与CMOS控制单元(2)的机械和电学连接。 | ||
| 地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号 | ||