发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR SENSING FOREIGN PARTICLES ON OR BELOW GLASS FOR FLAT PANEL DISPLAY
摘要
申请公布号 KR20090047762(A) 申请公布日期 2009.05.13
申请号 KR20070113774 申请日期 2007.11.08
申请人 NARAENANOTECH CORPORATION 发明人 HAN, SUN GU
分类号 G01N21/88;G01N21/896 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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