发明名称 三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构
摘要 本发明涉及微电子学与分子电子学中的纳米电路结构技术领域,公开了一种三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构,该结构从上至下依次由顶层CMOS器件、分子开关器件和底层CMOS器件连接而成;所述顶层CMOS器件通过通孔与分子开关器件上电极连接,底层CMOS器件通过通孔与分子开关器件下电极连接,所述顶层CMOS器件与底层CMOS器件键合连接在一起。利用本发明,避免了不在同一平面上的通孔与上下电极的影响,同时将电路集成度提高了一倍,具有较高的创新意义及实用价值。
申请公布号 CN101431070A 申请公布日期 2009.05.13
申请号 CN200710176934.0 申请日期 2007.11.07
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 涂德钰;刘 明;王 慰;商立伟;谢常青
分类号 H01L25/16(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I 主分类号 H01L25/16(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周国城
主权项 1、一种三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构,其特征在于,该结构从上至下依次由顶层CMOS器件、分子开关器件和底层CMOS器件连接而成;所述顶层CMOS器件通过通孔与分子开关器件上电极连接,底层CMOS器件通过通孔与分子开关器件下电极连接,所述顶层CMOS器件与底层CMOS器件键合连接在一起。
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