发明名称 |
三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构 |
摘要 |
本发明涉及微电子学与分子电子学中的纳米电路结构技术领域,公开了一种三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构,该结构从上至下依次由顶层CMOS器件、分子开关器件和底层CMOS器件连接而成;所述顶层CMOS器件通过通孔与分子开关器件上电极连接,底层CMOS器件通过通孔与分子开关器件下电极连接,所述顶层CMOS器件与底层CMOS器件键合连接在一起。利用本发明,避免了不在同一平面上的通孔与上下电极的影响,同时将电路集成度提高了一倍,具有较高的创新意义及实用价值。 |
申请公布号 |
CN101431070A |
申请公布日期 |
2009.05.13 |
申请号 |
CN200710176934.0 |
申请日期 |
2007.11.07 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
涂德钰;刘 明;王 慰;商立伟;谢常青 |
分类号 |
H01L25/16(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I |
主分类号 |
H01L25/16(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
1、一种三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构,其特征在于,该结构从上至下依次由顶层CMOS器件、分子开关器件和底层CMOS器件连接而成;所述顶层CMOS器件通过通孔与分子开关器件上电极连接,底层CMOS器件通过通孔与分子开关器件下电极连接,所述顶层CMOS器件与底层CMOS器件键合连接在一起。 |
地址 |
100029北京市朝阳区北土城西路3号 |