带氙气回收的配气装置

摘要

带氙气回收的配气装置，它包括氙气瓶(1)、原料气瓶(2)、原料气阀门(3)、管道(10)、压力表(4)、放空阀门(5)、抽真空阀门(6)、真空泵(8)、产品气阀门(6)、产品气瓶(7)，其特征在于它还包括液氮杜瓦容器(15)和冷冻瓶(16)，所述冷冻瓶(16)位于液氮杜瓦容器(15)内，冷冻瓶(16)通过管道阀门(14)及管道三通(12)与管道(10)连接。它克服了现有装置无法回收管道内剩余的氙气，导致生产成本增加，企业的效益减少的缺点。本实用新型满足了在配气过程中降低氙气消耗的需求，提高了氙气的利用率。

主权项

1、带氙气回收的配气装置，它包括氙气瓶(1)、原料气瓶(2)、原料气阀门(3)、管道(10)、压力表(4)、放空阀门(5)、抽真空阀门(6)、真空泵(8)、产品气阀门(6)、产品气瓶(7)，氙气瓶(1)和原料气瓶(2)分别通过原料气阀门(3)连接管道(10)，管道(10)上连接有压力表(4)、放空阀门(5)、抽真空阀门(9)、产品气阀门(6)，抽真空阀门(9)连接真空泵(8)，产品气阀门(6)连接产品气瓶(7)；其特征在于它还包括液氮杜瓦容器(15)和冷冻瓶(16)，所述冷冻瓶(16)位于液氮杜瓦容器(15)内，冷冻瓶(16)通过管道阀门(14)及管道三通(12)与管道(10)连接。