| 发明名称 | 金属蒸发发热体和金属的蒸发方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供可以改善对熔融金属的润湿性、实现长寿命化的金属蒸发舟皿和使用它的金属的蒸发方法。金属蒸发发热体，其特征在于，在含有二硼化钛(TiB<sub>2</sub>)和/或二硼化锆(ZrB<sub>2</sub>)以及氮化硼(BN)构成的陶瓷烧结体的上表面在不与通电方向平行的方向上具有1条或2条以上的沟。该情况下，较好是不与通电方向平行的方向相对于通电方向呈20～160度，陶瓷烧结体具有凹部，在其底面形成沟，在陶瓷烧结体的上表面和/或凹部的底面由多条沟构成所需的图案。此外，金属的蒸发方法，其特征在于，使用该金属蒸发发热体，在使其沟的一部分或全部与金属接触的状态下，于真空中加热。 | ||
| 申请公布号 | CN100487154C | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200480026296.9 | 申请日期 | 2004.11.16 |
| 申请人 | 电气化学工业株式会社 | 发明人 | 五十岚厚树;宫井明;渡边祥二郎;须崎纯一;岩元健太郎 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;H05B3/14(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 1. 金属蒸发发热体，其特征在于，在至少含有导电物质二硼化钛和/或二硼化锆以及绝缘物质氮化硼作为必要成分的陶瓷烧结体的上表面，在不与通电方向平行的方向上具有1条或2条以上的沟，且沟的宽度为0.1～1.5mm，深度为0.03～1mm，长度在1mm以上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||