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发明名称 SERVO SYSTEM FOR A TWO-DIMENSIONAL MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS)-BASED SCANNER AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 EP1620846(A4) 申请公布日期 2009.05.13
申请号 EP20040749935 申请日期 2004.04.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 SRI M.,SRI-JAYANTHA;DANG, HIEN;SHARMA, ARUN;ELEFTHERIOU, EVANGELOS, S.;LANTZ, MARK, A.;POZIDIS, CHARALAMPOS
分类号 G05B1/06;G05B19/18;G11B;G11B7/085;G11B7/09 主分类号 G05B1/06
代理机构 代理人
主权项
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