发明名称 气体折射率传感器
摘要 一种气体折射率传感器,包括一光子晶体模块、光源和探测器,光源与探测器分别设置于光子晶体模块的两端,该光子晶体模块包括一基体,该基体包括第一平面及与第一平面相对的第二平面,该基体上有垂直贯穿于第一平面和第二平面大量的气孔,该气孔构成一三角型光子晶体模块,其中位于该基体中心位置的气孔的直径小于其它气孔的直径形成一谐振腔,其中,该谐振腔相对的两侧为由未设置气孔的基体构成的线缺陷,该线缺陷分别为第一波导与第二波导,该第一波导与第二波导分别与该谐振腔之间相隔数个孔。
申请公布号 CN101430277A 申请公布日期 2009.05.13
申请号 CN200710124285.X 申请日期 2007.11.07
申请人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 发明人 王晓玲;金国藩;朱钧
分类号 G01N21/41(2006.01)I 主分类号 G01N21/41(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1. 一种气体折射率传感器,包括:一光子晶体模块,该光子晶体模块进一步包括:一基体,该基体包括第一平面及与第一平面相对的第二平面;大量气孔,该气孔设置于上述基体上,垂直贯穿于第一平面和第二平面;一谐振腔,该谐振腔为位于基体中心位置的气孔,其直径小于其它气孔的直径;一第一波导与一第二波导,该第一波导与第二波导设置于上述谐振腔的两端,分别与上述谐振腔之间相隔多个气孔;一光源,该光源设置于晶体模块的一端,对应第一波导设置;一探测器,该探测器设置于晶体模块的另一端,对应第二波导设置;其特征在于,所述第一波导与第二波导为该光子晶体模块上的两个线缺陷,由未设置气孔的部分基体构成。
地址 100084北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室