| 发明名称 | 一种太阳能电池的双层减反射膜加工方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及太阳能电池的减反射膜，特别是一种太阳能电池的双层减反射膜加工方法。它包括如下步骤：第一步，湿氧，即在高温下通入水汽，在硅片表面生成二氧化硅膜；第二步，PECVD沉积，即在第一步中做好的二氧化硅膜上进行氮化硅沉积。本发明方法主要解决上述现有单层减反射膜的电池片，功率不稳定，容易衰减的技术问题，经过双层减反射膜处理，太阳能电池的输出功率的稳定性有了明显的提高。 | ||
| 申请公布号 | CN101431121A | 申请公布日期 | 2009.05.13 |
| 申请号 | CN200710047894.X | 申请日期 | 2007.11.07 |
| 申请人 | 展丰能源技术（上海）有限公司 | 发明人 | 李文男;郭文林;陈 建 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 王敏杰 |
| 主权项 | 1、一种太阳能电池的双层减反射膜加工方法，其特征在于它包括如下步骤：第一步，湿氧，即在高温下通入水汽，在硅片表面生成二氧化硅膜；第二步，PECVD沉积，即在第一步中做好的二氧化硅膜上进行氮化硅沉积。 | ||
| 地址 | 201100上海市闵行区友东路479号 | ||