发明名称 METHOD FOR FORMING TEST PATTERN OF GATE OX INTEGRITY AND TEST PATTERN STRUCTURE FOR THE GATE OX INTEGRITY
摘要
申请公布号 KR100896842(B1) 申请公布日期 2009.05.12
申请号 KR20070098735 申请日期 2007.10.01
申请人 发明人
分类号 H01L23/544 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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