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发明名称 METHOD OF FORMING FINE PATTERN
摘要
申请公布号 KR20090047147(A) 申请公布日期 2009.05.12
申请号 KR20070113176 申请日期 2007.11.07
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 CHOI, JUNG SU
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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