SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT USING VISION SYSTEM AND METHOD FOR TEACHING OF WAFER TRANFER ROBOR AUTOMATICALLY THEREOF,申请号KR20070113133-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT USING VISION SYSTEM AND METHOD FOR TEACHING OF WAFER TRANFER ROBOR AUTOMATICALLY THEREOF
摘要
申请公布号	KR20090047117(A)	申请公布日期	2009.05.12
申请号	KR20070113133	申请日期	2007.11.07
申请人	SEMES CO., LTD.	发明人	PARK, SANG KYU
分类号	H01L21/677;H01L21/68	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
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