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发明名称
METHOD FOR OPTICAL PROXIMITY CORRECTION USING PATTERN SEGMENTATION
摘要
申请公布号
KR100896861(B1)
申请公布日期
2009.05.12
申请号
KR20070138625
申请日期
2007.12.27
申请人
DONGBU HITEK CO., LTD.
发明人
LEE, JUN SEOK
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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