发明名称 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements
摘要 Es wird ein mikromechanisches Bauelement vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement Festelektroden und eine seismische Masse aufweist, wobei die seismische Masse über Aufhängeelemente mit einem Trägersubstrat verbunden und gegenüber diesem beweglich ist und wobei die seismische Masse Gegenelektroden aufweist, welche über eine erste elektrisch leitfähige Verbindung miteinander verbunden sind und wobei ferner die Festelektroden Messelektroden und abgekoppelte Elektroden aufweisen, wobei die Messelektroden als elektrisches Auswertungsmittel und die den abgekoppelten Elektroden gegenüberliegenden Gegenelektroden als frequenzbandveränderndes mechanisches Element fungierend vorgesehen sind.
申请公布号 DE102007051871(A1) 申请公布日期 2009.05.07
申请号 DE200710051871 申请日期 2007.10.30
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BENNINI, FOUAD;FUERST, WOLFGANG;TEBJE, LARS
分类号 G01P15/125;B81B7/02 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
主权项
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