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发明名称 TRANSPORTVORRICHTUNG FÜR SCHEIBENFÖRMIGE WERKSTÜCKE
摘要
申请公布号 DE502006003294(D1) 申请公布日期 2009.05.07
申请号 DE200650003294T 申请日期 2006.09.15
申请人 OC OERLIKON BALZERS AG 发明人 SCHOLTE VAN MAST, BART;CHRIST, HOLGER
分类号 H01L21/687;H01L21/677 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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