| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe (10) mit einem Pumpen-Gehäuse (14) und mehreren separaten Statorflügel-Ringscheiben (16), die zusammen ein Ringscheiben-Paket (18) bilden. Unmittelbar zwischen dem Ringscheiben-Paket (18) und dem Pumpen-Gehäuse (14) ist eine zylindrische Reibungsbuchse (20) angeordnet. Axial zwischen dem Ringscheiben-Paket (18) und dem Pumpen-Gehäuse (14) ist ein Axialspalt (22) vorgesehen, so dass das Ringscheiben-Paket (18) drehbar ist.</p> |
