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发明名称 MINI TYPE DIFFUSION FURNACE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR20090043812(A) 申请公布日期 2009.05.07
申请号 KR20070109582 申请日期 2007.10.30
申请人 P&TECH CO., LTD. 发明人 KIM, SUN OH
分类号 H01L21/324;H01L21/677 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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