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发明名称 Verfahren zur Erniedrigung oder Entfernung von NH3/HF Nebenprodukten bei der Hestellung von Stickstofftriflourid
摘要
申请公布号 DE60320477(T2) 申请公布日期 2009.05.07
申请号 DE20036020477T 申请日期 2003.03.20
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC. 发明人 TSIRUKIS, ATHANASIOS;LILECK, JOHN THEODORE;WITHERS, HOWARD PAUL JR.;FEGLEY, KENNETH E.
分类号 B01D19/00;C01B21/083;B01D3/00;B01D17/00;C01B7/19 主分类号 B01D19/00
代理机构 代理人
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