发明名称 |
METHOD FOR FORMING TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR20090045150(A) |
申请公布日期 |
2009.05.07 |
申请号 |
KR20087030771 |
申请日期 |
2008.12.17 |
申请人 |
ULVAC, INC. |
发明人 |
TAKAHASHI HIROHISA;UKISHIMA SADAYUKI;OTA ATSUSHI;TANI NORIAKI;ISHIBASHI SATORU |
分类号 |
C01G9/00;C23C14/34;H01B13/00;H01L21/28 |
主分类号 |
C01G9/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|