Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels,申请号DE20026031698-传众专利搜索

发明名称	Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
摘要
申请公布号	DE60231698(D1)	申请公布日期	2009.05.07
申请号	DE20026031698	申请日期	2002.12.27
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	BAKKER, LEON;JONKERS, JEROEN;VISSER, HUGO MATTHIEU
分类号	G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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