| 发明名称 |
UNIT FOR INJECTING A CHEMICAL AND APPARATUS FOR PROCESSING A BOARD HAVING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20090044073(A) |
申请公布日期 |
2009.05.07 |
| 申请号 |
KR20070109966 |
申请日期 |
2007.10.31 |
| 申请人 |
SEMES CO., LTD. |
发明人 |
JEE, HYEON;YEO, SEUNG CHUL |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3063 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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