发明名称 纳米颗粒的植入
摘要 本发明揭示了在一种材料的表面上形成另一种纳米尺寸材料的涂层的方法,该方法使用微机械加工喷珠机植入纳米颗粒。该方法可采用许多种目标材料、纳米颗粒(例如碳纳米管、CNT)和环境条件,使用许多种载体珠粒尺寸和材料,或者不使用载体珠粒。本发明所要求的植入法可用来制造用于场致发射装置的表面活化CNT阴极。该植入法还可用来使撞击点附近的任何材料互相发生化学反应。
申请公布号 CN101427357A 申请公布日期 2009.05.06
申请号 CN200580021057.9 申请日期 2005.06.28
申请人 毫微-专卖股份有限公司 发明人 Z·雅尼弗;R·L·芬克;M·杨
分类号 H01L21/44(2006.01)I 主分类号 H01L21/44(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 张宜红
主权项 1. 一种用来改变表面性质的方法,该方法包括以下步骤:提供用来改变的目标表面;在所述目标表面上进行纳米颗粒植入,其中:所述植入是使用载体珠粒,通过喷珠法进行的,使得载体珠粒碰撞目标表面;在进行所述植入之前将所述纳米颗粒与所述载体珠粒相混合,使得所述纳米颗粒变成物理附着于所述载体珠粒。
地址 美国得克萨斯州