| 发明名称 | 减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置 | ||
| 摘要 | 为了使附着在减压处理室内的部件上的微颗粒飞散，清洁部件，采用将电压加在部件上，利用麦克斯韦应力使微颗粒飞散的方法；使微颗粒带电，利用库仑力飞散的方法，将气体导入减压处理室中，使气体冲击波到达附着有微颗粒的部件，使微颗粒飞散的方法；使部件温度上升，利用热应力和热泳动力，使微颗粒飞散的方法；或将机械振动给与部件，使微颗粒飞散的方法。另外，使飞散的微颗粒在较高压的气氛下被气体流夹带除去。 | ||
| 申请公布号 | CN100485859C | 申请公布日期 | 2009.05.06 |
| 申请号 | CN200410057032.1 | 申请日期 | 2004.08.25 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 守屋刚;长池宏史;中山博之 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1. 一种部件清洁方法，使附着在减压处理室的部件上的微颗粒飞散，其特征为，将根据所述部件的介电常数和所述微颗粒的介电常数之差确定的电压加在所述部件上，使附着在所述部件上的微颗粒飞散。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||