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发明名称 A method for forming a metal line of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100895404(B1) 申请公布日期 2009.05.06
申请号 KR20020087059 申请日期 2002.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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