短波长X射线衍射测量装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于较低原子序数的晶体材料试样或工件的短波长X射线衍射断层扫描测量装置和方法。其装置包括X射线管、入射光阑、工作台、限位接收狭缝、测角仪、探测器、能量分析器，其特征在于：所述X射线管与所述探测器位于所述工作台两侧。本发明采用短波长X射线衍射透射法，在不破坏原子序数较低的晶体材料工件的前提下，能测得厚度更厚的工件不同深度不同部位的X射线衍射谱及其分布。本发明所述具有操作简便，检测时间不长，测得的X射线衍射谱真实、可靠。

主权项

1、一种短波长X射线衍射测量装置，包括X射线管(1)、入射光阑(2)、工作台(4)、接收狭缝(5)、测角仪(7)、探测器(6)、能量分析器(9)，其特征在于：所述X射线管(1)与所述探测器(6)位于所述工作台(4)及其上的被测工件(3)两侧，采用短波长X射线衍射透射法对被测工件(3)进行断层扫描测量；所述接收狭缝(5)、探测器(6)固定在测角仪(7)上，同步绕以工作台(4)上被测工件(3)被测点为圆心转动，此被测点位于测角仪(7)的转轴上；测角仪(7)固定在一个平台(13)上；工作台(4)或固定在测角仪(7)上，或固定于平台(13)；X射线管(1)或固定于测角仪(7)上，或固定于平台(13)上；入射光阑(2)或固定于测角仪(7)上，或固定于平台(13)上，或固定于X射线管(1)上的夹具；入射光阑(2)出口或在测角仪(7)圆周上，或在测角仪(7)圆周内：工作台(4)上的被测工件(3)或随工作台(4)分别作X、Y、Z三维方向平移或绕测角仪转轴转动Ψ角度或作X、Y、Z、Ψ联动。